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GRYLLS 5930大流量气体质量流量控制器采用热式原理，预热时间短，精度高，零飘小，管状分流，不易堵塞，适用于各种低压和高压管道，流量可达6000SLM,并可实现数字/模拟控制模式;采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,产品支持 RS-232 Serial / RS-485 Serial / Modbus RTU / PROFIBUS / EtherNet/IP/ DeviceNet / Modbus TCP/IP / EtherCAT / PROFIBUS-DP通讯协议。
GRYLLS 5930大流量气体质量流量控制器采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
GRYLLS 5930大流量气体质量流量控制器
| 各量程设备规格参数(有关选配项，请联系 Grylls） | ||||
| 全量程质量流量控制器 |
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| 机械尺寸 | 气路过程连接接口规格 |
| 5910系列 0.5-10 sccm | 4.92"H x 3.94"W x 1.14"D | G3/8" Female Thread | ||
| 5910系列 10-100 sccm |
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| 5910系列 100-500 sccm |
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| 5910系列 500-1000 sccm |
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| 5910系列 1000-2000 sccm |
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| 5910系列 2-5 slm |
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| 5910系列 5-20 slm |
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| 5910系列 20-30 slm |
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| 5920系列 30-100 slm | 5.31"H x 4.53"W x 1.38"D | G3/8" Female Thread | ||
| 5920系列 100-200 slm |
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| 5920系列 200-300 slm |
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| 5930系列 300-500 slm | 6.30"H x 9.25"W x 2.91"D | G1/2" Female Thread | ||
| 5930系列 500-1000 slm |
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| 5930系列 1000-2000 slm |
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| 5930系列 2000-3000 slm |
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| 5930系列 3000-6000 slm | 6.30"H x 9.25"W x 2.91"Dx2 | Double G1/2"Female Thread | ||
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