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    热门关键词：质量流量计，质量流量控制器，气体质量流量计，气体质量流量控制器
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    科里奥利质量流量控制器

    简要描述：科里奥利质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。

    • 产品型号：
    • 厂商性质：生产厂家
    • 更新时间：2025-05-28
    • 访  问  量：1886
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    详细介绍

    品牌其他品牌价格区间面议
    产品种类差压式介质分类气体&液体
    产地类别国产应用领域石油,能源,电子/电池,电气,综合

    科里奥利质量流量控制器其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

    • 在大多数流量仪表上0.6%的读数精度

    • 4 ms响应时间

    • 无需预热

    • 四个过程变量

    • 内置的显示

    • 工业协议

    • 压力补偿

    • 温度补偿

    • 宽动态流量范围


    科里奥利质量流量控制器技术参数：

    1

    　　量程范围

    　?。?~5，10,20,30,50,100,200,300,500 ）SCCM

    　?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000） SLM

    　　2

    　　准确度

    　　±1%F.S ±0.5%F.S

    　　3

    　　线性

    　　±0.5~1.5%F.S

    　　4

    　　重复精度

    　　±0.2%F.S

    　　5

    　　响应时间

    　　电特性：10sec 气特性：（1~4）sec

    　　6

    　　工作压差

    　　0.1~0.5MPa

    　　7

    　　耐压

    　　3MPa

    　　8

    　　工作环境温度

    　　0~70℃

    　　9

    　　数字量

    　　RS485 MODBUS协议

    　　10

    　　模拟量

    　　DC 0~5V ，4~20mA 可选

    　　11

    　　供电

    　　DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA

    　　12

    　　电气连接

    　　DB15



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